四氟化硅检测项目及标准有哪些?检测实验室可根据GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅等相关标准制定试验方案。对四氟化硅检测的四氟化硅纯度、氢含量、氧氩含量、氮含量等项目进行检测分析。并出具严谨公正的四氟化硅检测报告。

检测项目

四氟化硅纯度、氢含量、氧氩含量、氮含量、一氧化碳含量、二氧化碳含量、甲烷含量、硫化氢含量、二氧化硫含量、总杂质含量、六氟二甲基硅醚含量、颗粒含量等。

适用范围

工业用四氟化硅气体等。

相关检测标准

GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅

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