一、检测标准

产品标准：

GB/T 35465-2020《蓝宝石衬底抛光液》(含稀土抛光液要求)

HG/T 4530-2013《电子工业用抛光液》

方法标准：

GB/T 2951.21-2008《电缆和光缆绝缘和护套材料通用试验方法》(测 pH 值)

ISO 14644-1-2015《洁净室及相关受控环境》(颗粒度测试)

二、检测范围

抛光液类型：氧化铈基抛光液、复合稀土纳米抛光液、硅片专用抛光液

应用场景：蓝宝石衬底抛光、硅片 CMP 制程、光学镜片精抛

三、检测项目

理化性能：

固含量(10%-20%，重量法)

pH 值(8.0-10.0.精密 pH 计)

悬浮稳定性(静置 72h，沉降率≤3%)

抛光性能：

材料去除率(≥1μm/min，蓝宝石衬底)

表面粗糙度(Ra≤0.5nm，白光干涉仪)

洁净度：

颗粒度(≥0.5μm 颗粒≤10 个 /mL，激光粒子计数器)

四、检测方法

旋转圆盘电极(RDE)：模拟抛光机转速(300-600r/min)，测去除率

原子力显微镜(AFM)：扫描范围 10μm×10μm，测表面粗糙度

离心沉淀法：3000r/min 离心 30min，评估长期悬浮性

五、百检优势

配备半导体级洁净室(Class 100)，避免外界颗粒干扰

检测费用较行业均价低 22%，支持 “抛光液 - 抛光效果” 联动分析

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