高纯石墨检测标准及检测项目方法

检测知识 百检检测 2025-08-15

检测范围包括半导体用高纯石墨(碳≥99.999%)、核反应堆用石墨、电池负极材料用石墨及石墨制品(如坩埚、电极)。

检测标准

GB/T 3518-2008《高纯石墨》

ASTM C781-18《人造石墨材料化学分析标准试验方法》

SEMI F76-12《半导体制造用石墨材料规范》

ISO 17025:2017《检测和校准实验室能力通用要求》

检测项目

纯度指标:总碳含量、灰分、挥发分、水分

杂质元素:钠、钾、铁、钙、镁、硅等微量元素

物理性能:电阻率、热膨胀系数、密度、抗压强度

结构特性:石墨化度、晶体层间距(d002)

检测方法

纯度指标:

高频红外碳硫仪:测总碳含量,误差 ±0.001%

马弗炉灼烧法:按 GB/T 3518-2008 测灰分(≤0.1%)

杂质元素:

电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS):检测微量元素,检出限 0.001ppm

物理性能:

四探针法:测电阻率(<10μΩ・m)

热膨胀仪:测热膨胀系数,精度 ±1×10⁻⁷/℃

结构特性:

X 射线衍射仪(XRD):计算石墨化度(≥95%),层间距误差≤0.001nm

百检优势:百检合作实验室具备 CMA/CNAS 资质,可检测多领域高纯石墨,支持定制项目,检测费用合理,周期 2-4 工作日。


温馨提示:以上内容仅供参考,更多检测相关信息请咨询官方客服。

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