
检测范围包括半导体用高纯石墨(碳≥99.999%)、核反应堆用石墨、电池负极材料用石墨及石墨制品(如坩埚、电极)。
检测标准:
GB/T 3518-2008《高纯石墨》
ASTM C781-18《人造石墨材料化学分析标准试验方法》
SEMI F76-12《半导体制造用石墨材料规范》
ISO 17025:2017《检测和校准实验室能力通用要求》
检测项目:
纯度指标:总碳含量、灰分、挥发分、水分
杂质元素:钠、钾、铁、钙、镁、硅等微量元素
物理性能:电阻率、热膨胀系数、密度、抗压强度
结构特性:石墨化度、晶体层间距(d002)
检测方法:
纯度指标:
高频红外碳硫仪:测总碳含量,误差 ±0.001%
马弗炉灼烧法:按 GB/T 3518-2008 测灰分(≤0.1%)
杂质元素:
电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS):检测微量元素,检出限 0.001ppm
物理性能:
四探针法:测电阻率(<10μΩ・m)
热膨胀仪:测热膨胀系数,精度 ±1×10⁻⁷/℃
结构特性:
X 射线衍射仪(XRD):计算石墨化度(≥95%),层间距误差≤0.001nm
百检优势:百检合作实验室具备 CMA/CNAS 资质,可检测多领域高纯石墨,支持定制项目,检测费用合理,周期 2-4 工作日。

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