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检测样品
压电薄膜
检测项目
性能检测，指标检测等。
检测标准参考
IEC 62047-37-2020半导体器件–微机电器件–第37部分：用于传感器的MEMS压电薄膜的环境检测方法–版本1.0
SJ 20717A-2018氧化锌压电薄膜规范
SJ 21102-2016氮化铝压电薄膜通用规范
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压电薄膜检测项目及标准明细清单一览
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