标准编号：GB/T 24574-2009硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光检测方法

标准状态：现行

标准简介：本标准规定了硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光检测方法。本标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。本标准用于检测单晶硅中含量为1×1011at·cm-3~5×1015at·cm-3的各种电活性杂质元素。

英文名称： Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities

中标分类： 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

ICS分类： 电气工程>>29.045半导体材料

采标情况： MOD SEMI MF 1389-0704

发布部门： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期： 2009-10-30

实施日期： 2010-06-01

首发日期： 2009-10-30

提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

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