标准编号：GB/T 14144-2009硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

标准状态：现行

标准简介：本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm 的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm 的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。

英文名称： Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon

替代情况： 替代GB/T 14144-1993

中标分类： 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

ICS分类： 电气工程>>29.045半导体材料

采标情况： MOD SEMI MF 1188-1105

发布部门： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期： 2009-10-30

实施日期： 2010-06-01

首发日期： 1993-02-06

提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

温馨提示：以上内容仅供参考，更多检测相关信息请咨询官方客服。