标准简介：本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。本标准适用于素和化合物半导体材料。

标准号：GB/T 14264-1993

标准名称：半导体材料术语

英文名称：Semiconductor materials－Terms and definitions

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-03-20

实施日期：1993-01-02

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

国际标准分类号（ICS）：29.040.30

替代以下标准：被GB/T 14264-2009代替

起草单位：中国有色金属总公司标准所

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局

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