
标准简介:本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。 本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。
标准号:GB/T 38341-2019
标准名称:微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2019-12-31
实施日期:2020-04-01
国际标准分类号(ICS):电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布单位:国家市场监督管理总局.

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