标准简介：本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式:WF6。分子量:297.8304192(按2009年国际相对原子质量计算)。

标准号：GB/T 32386-2015

标准名称：电子工业用气体 六氟化钨

英文名称：Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-12-31

实施日期：2016-07-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体

起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布单位：国家质量监督检验检疫.

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