标准简介：本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。

标准号：GB/T 26113-2010E

标准名称：微机电系统（MEMS)技术 微几何量评定总则（英文版）

英文名称：Micro-electromechanical system technology-General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31.200集成电路、微电子学

归口单位：SAC/TC 336 the National Standard

发布单位：General Ad.

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