标准简介：本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本 标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

标准号：GB/T 26111-2010

标准名称：微机电系统（MEMS）技术　术语

英文名称：Micro-electromechanical system technology—Terms

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31.200集成电路、微电子学

起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布单位：国家质量监督检验检疫.

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