GB/T4059-2018硅多晶气氛区熔基磷检验方法

检测标准 百检检测 2024-12-19

标准简介:本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。�ケ颈曜际视糜谠诠栊旧铣粱�生长的多晶硅棒中基磷含量(原子数)的测定,测定范围为0.01×10����13�� cm����-3��~500×10����13�� cm����-3��。��

标准号:GB/T 4059-2018

标准名称:硅多晶气氛区熔基磷检验方法

英文名称:Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2018-12-28

实施日期:2019-11-01

中国标准分类号(CCS):冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号(ICS):冶金>>77.040金属材料试验

替代以下标准:替代GB/T 4059-2007

起草单位:江苏中能硅业科技发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、亚洲硅业(青海)有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、新特能源股份有限公司等

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全

发布单位:国家市场监督管理总局.

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