光刻机水中检测报告如何办理？检测项目及标准有哪些？百检第三方检测机构，严格按照光刻机水中检测相关标准进行测试和评估。做检测，找百检。我们只做真实检测。

涉及光刻机水中的标准有17条。

国际标准分类中，光刻机水中涉及到玻璃、光电子学、激光设备、电灯及有关装置、半导体材料、电子元器件综合、光学设备、有机化学、电子元器件组件。

在中国标准分类中，光刻机水中涉及到石英玻璃、电子技术专用材料、、、、、光学设备、液压油液、电子元件综合、加工专用设备。

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于光刻机水中的标准

GB/T 34177-2017光刻用石英玻璃晶圆

国家质检总局，关于光刻机水中的标准

GB/T 29844-2013用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范

中国团体标准，关于光刻机水中的标准

T/SCS 000021-2023i-线光刻级氟化钙晶体元件

T/ZS 0344-2022数字化无掩模激光直写光刻机

T/JSQA 127-2022光刻机用超高压短弧曝光光源

T/ICMTIA 5.2-2020集成电路用ArF浸没式光刻胶

T/ICMTIA 5.3-2020集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法

T/ICMTIA 4.2-2020集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类

T/ICMTIA 4.1-2020集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类

T/ICMTIA 5.1-2020集成电路用 ArF 干式光刻胶

德国标准化学会，关于光刻机水中的标准

DIN 32566-2007微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范

，关于光刻机水中的标准

GOST R 52250-2004电子工程材料.光刻工艺抗蚀剂.通用规范

(美国)空*，关于光刻机水中的标准

AIR FORCE A-A-59404-1999便携式液压油型光刻胶配量器

美国材料与试验协会，关于光刻机水中的标准

ASTM F907-85(1992)e1光刻胶旋涂用圆片旋转加速度测量的试验方法

ASTM F581-78(1991)e1光刻胶加速老化的实施规程

美国电子电路和电子互连行业协会，关于光刻机水中的标准

IPC MI-660 5.3-1984干电影光刻胶

行业标准-电子，关于光刻机水中的标准

SJ/T 31116-1994PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法

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