
电子级合金对纯度要求极高(金属纯度≥99.99%),痕量杂质会影响元器件导电性与稳定性。ASTM F1845-97 标准指定采用高质量缩减辉光放电质谱法,精准测定铝铜、铝硅、铝铜硅合金中的痕量金属杂质。
一、检测范围与纯度要求
适用合金:铝含量>95.0%、铜≤5.0%、硅≤5.0% 的电子级合金,覆盖半导体、电路板用合金材料。
杂质管控:重点检测铁、镁、锌、钛等痕量杂质,单杂质含量需≤1ppm,总杂质含量≤10ppm,满足电子元器件生产要求。
二、核心检测方法(GDMS 法)
检测原理:通过磁扇区辉光放电质谱仪,将合金样品离子化,依据质荷比分离杂质离子,结合相对灵敏度因子定量,灵敏度达 ppb 级。
样品制备:合金样品经机械研磨、抛光,确保表面平整无氧化层,样品尺寸适配仪器进样要求,避免氧化杂质干扰检测。
方法优势:无需复杂前处理,可直接分析固体样品,同时测定多种痕量杂质,检测效率优于 ICP-MS 法,适合高纯度合金分析。
三、实操与质量控制
仪器校准:检测前用标准合金样品校准仪器,设定相对灵敏度因子,确保不同杂质元素定量准确。
干扰规避:通过仪器参数优化,减少基体效应与离子干扰,对低含量杂质采用累加计数法提升检测精度。
结果验证:每批次样品做平行测定,相对标准偏差<3%,同时用 ICP-MS 法比对,确保数据可靠。
上海百检检测中心熟练掌握 GDMS 法操作,严格遵循 ASTM 标准,为电子材料企业提供痕量杂质精准检测服务。

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