SJ/T 11512与GB/T 17473标准解读

检测知识 百检检测 2026-09-28

电阻浆料由导电功能相(如RuO₂、钌酸铋)、玻璃粘结相和有机载体组成,通过丝网印刷和高温烧结形成厚膜电阻体。浆料性能的检测需要在制备成标准样片后进行,检测项目涵盖电学性能、物理性能和工艺性能三大维度。

检测范围

厚膜电阻浆料(RuO₂基、钌酸铋基)、铂电阻浆料、银钯电阻浆料、氧化钌电阻浆料、钼硅电阻浆料、碳膜电阻浆料。适用于厚膜混合集成电路及片式电阻、LTCC/HTCC、热敏元件、压敏元件、电位器、功率电阻等元器件用电阻浆料。

主要检测标准

标准编号标准名称
SJ/T 11512-2015集成电路用电子浆料性能试验方法
GB/T 17473.3-2008微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
GB/T 17473-2025电子浆料性能试验方法 导体浆料测试
SJ 20634-1997电子浆料性能试验方法
JIS C 2570-1厚膜NTC浆料方阻测试方法

核心检测项目

1. 方阻(Sheet Resistance)

方阻是电阻浆料最核心的电学参数,表示单位方块的电阻值。检测方法按SJ/T 11512-2015方法105执行,使用四探针法测量方块电阻值。方阻均匀性通过多点测量评估,验证膜层电阻的一致性。

2. 电阻温度系数(TCR)

TCR反映浆料烧结膜电阻值随温度的变化率。按SJ/T 11512-2015方法301执行,分别测量25℃和125℃下的阻值(正温度系数),以及25℃和-55℃下的阻值(负温度系数)。正温度系数计算公式为X(HTCR) = [(R₂-R₁)/R₁] × 10000,其中R₁为25℃阻值,R₂为125℃阻值。负温度系数计算公式为X(CTCR) = 1000000×(R₄-R₃)/(80×R₃),其中R₃为25℃阻值,R₄为-55℃阻值。

3. 附着力

评估浆料烧结膜与基板之间的结合强度,检测方法包括拉拔测试法(垂直拉伸测量分离力值)、划格法(用划格器划出网格后胶带剥离,基于ASTM D3359评估附着力等级)和剥离测试法。

4. 黏度与触变恢复性能

浆料的流变性能影响丝网印刷的图案质量。使用旋转黏度计或流变仪测量浆料在不同剪切速率下的黏度值及触变恢复特性。

5. 细度与固体含量

细度反映浆料中固体颗粒的分散程度,固体含量决定烧结后膜层的厚度和致密性。依据GB/T 17473-2025测定。

6. 静电放电(ESD)耐受性

按SJ/T 11512-2015方法302执行,对烧结样片施加规定电压(如4kV、正负3次)后测量阻值变化率,评估电阻膜层对静电放电的耐受能力。

检测方法要点

方阻测试使用四探针测试仪,通过四根等距探针接触样品表面测量方块电阻,避免接触电阻影响。TCR测试需在恒温设备中进行,以特定温度点(如25℃、125℃、-55℃)测量阻值后按公式计算。附着力测试可根据实际需求选择拉拔法、划格法或剥离法。静电放电试验使用专用ESD发生器,试验后样片需放置30分钟再进行阻值复测。


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