一、引言

封装车间的静电场强超标可能损坏 MOS 器件，空气中的 0.1μm 微粒会造成光刻缺陷，精准检测是半导体制造的核心保障。百检采用防静电采样技术，提供 “环境 - 设备 - 人员” 一体化方案，符合 ISO 14644 洁净标准。

二、核心检测内容

1. 检测范围

• 生产区域：晶圆清洗间、光刻区、封装测试区、ESD 防护工作站；

• 关键对象：防静电地板、晶圆传送盒、操作人员腕带 / 工鞋；

• 污染节点：新风入口、净化空调滤网、工艺用水管道。

2. 检测标准

   检测类型	执行标准	核心要求
   表面电阻率	IEC 61340-5-1	防静电地板 10⁶-10⁹Ω/sq
   静电场强	IEC 61340-5-2	操作区≤50V/m
   空气洁净度	ISO 14644-1	光刻区≥Class 3（0.1μm≤1000 粒 /m³）
   接地电阻	SJ/T 10694-2006	腕带接地电阻＜1Ω

3. 检测项目

• 静电指标：表面电阻率、体积电阻率、静电放电电压（＜200V）；

• 微污染：空气微粒（0.1μm/0.5μm）、工艺用水 TOC（≤50ppb）；

• 人员防护：人体综合电阻（腕带＜35MΩ，鞋底＜100MΩ）。

4. 检测方法

• 表面电阻率：高阻计，测试电压 100V，环境温湿度（23℃±2℃，45%-55% RH）；

• 静电场强：静电场测试仪，距被测物 30cm 处测量；

• 微粒浓度：激光粒子计数器，采样流量 100L/min；

• 接地电阻：四线法，消除接触电阻干扰。

三、百检服务优势

• 精度适配：检测设备精度达 10⁴Ω，满足半导体高端制程需求；

• 现场快检：静电指标 30 分钟出结果，支持产线即时调整；

• 体系认证：报告可用于 ISO 14644 洁净室认证与客户审核。

温馨提示：以上内容仅供参考，更多检测相关信息请咨询官方客服。