半导体车间静电防护与微污染检测手册
静电放电会导致晶圆击穿，微污染影响芯片良率，本文依据 IEC 61340 标准，涵盖 SMT 产线、晶圆车间等区域，详解静电防护、微粒浓度等检测项目及方法，百检提供电子级检测服务。